第460章 五步光刻法(2/2)
产品尺寸较小，最大只有12寸，分别率也比较低，只有640x480。
而马上就要开发的，自然就被称呼为第二代。
第二代的尺寸被放大到了15寸，最大分辨率则被提升到了1024x768。它的主要针对目标，是此时的工作站显示器市场。
“这样的话，难度大了不少，各设备厂家恐怕都会有很大的经济压力啊。”
第一代设备，算是试用，样品，各家都拿出了很大热情来参与。从某种角度上来说，为了抢占市场，就是赔本干，也要拿下来。
第一代产品还没有看到效益，就开始研发第二代，光是研发成本，各家就承受不了。
“没关系，第二代线也不是现在就启动，只是要跟各厂家提前打好招呼。至于一代线，我准备再建几条。让他们准备好挣钱就行了。”
“几条？中试线？为什么要建这么多条中试线？钱从哪来？”
1992年3月TFT的加工工艺，与晶圆没有原理上的本质区别。每一次光刻，成膜，清洗，涂光阻胶，曝光，显影，烘干，蚀刻，去光阻胶，检查，都要走一遍。
目前的TFT加工工艺，采用的是七次光刻的工艺。也就是基板需要通过七次光刻，才能完成加工。
会议的重点，永远都是良率问题。
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而马上就要开发的，自然就被称呼为第二代。
第二代的尺寸被放大到了15寸，最大分辨率则被提升到了1024x768。它的主要针对目标，是此时的工作站显示器市场。
“这样的话，难度大了不少，各设备厂家恐怕都会有很大的经济压力啊。”
第一代设备，算是试用，样品，各家都拿出了很大热情来参与。从某种角度上来说，为了抢占市场，就是赔本干，也要拿下来。
第一代产品还没有看到效益，就开始研发第二代，光是研发成本，各家就承受不了。
“没关系，第二代线也不是现在就启动，只是要跟各厂家提前打好招呼。至于一代线，我准备再建几条。让他们准备好挣钱就行了。”
“几条？中试线？为什么要建这么多条中试线？钱从哪来？”
1992年3月TFT的加工工艺，与晶圆没有原理上的本质区别。每一次光刻，成膜，清洗，涂光阻胶，曝光，显影，烘干，蚀刻，去光阻胶，检查，都要走一遍。
目前的TFT加工工艺，采用的是七次光刻的工艺。也就是基板需要通过七次光刻，才能完成加工。
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