第159节 芯片产业布局2(3/3)

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易实现高的对准和套刻精度、掩模制作相对简单、工艺条件容易掌握等优点,一直是半导体芯片制造产业中的主流光刻技术但是也是一个一个零件组装起来的,根据李飞重生前的记忆,光刻机的零部件高达数十万个…,其中最令人注意的就是镜头,是由20多块锅底大的镜片串联组成,镜片是经过高纯度透光材料高质量抛光所生产出来的,也可以说镜头是光刻机的核心零件,  

在21世纪,一家独大的荷蓝ASML制造的光刻机的镜片就是使用是徳國蔡司镜片技术所以,李飞认为要制造光刻机,还是从最简单的开始,从光刻机的镜头零件入手,然后,逐步生产完整的芯片光刻机…。  

不过,根据业内人士的说法,光刻机的零件几乎都是定制,90使用了世界最先进的加工技术,甚至一些接口都要工程师用高精度机械进行打磨,尺寸调整次数更可能高达百万次以上。如此困难的技术要求,造成了光刻机极低的产量,光刻机技术基本十年才会大更新一次

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